赛默飞台式大样品室扫描电子显微镜
凭借超大样品室、长寿命光源、高清成像与智能操作的融合，Phenom XL G2成为
台式SEM领域的全能型，兼顾高性能与高效率，为微观分析提供解决方案。

赛默飞台式大样品室扫描电子显微镜
作为赛默飞旗下飞纳（Phenom）系列旗舰产品，

Phenom XL G2台式大样品室扫描电子显微镜，以超大样品舱、
长寿命光源、易用性三大核心优势，重新定义台式SEM性能，

为工业质检、材料研发与科研教学提供高效微观分析方案。

核心设计：超大样品室突破局限

Phenom XL G2搭载台式SEM中最大规格样品台，尺寸达100 mm×100 mm，

可一次性承载大尺寸样品或批量放置36个小型样品，无需切割拆分，完整保留
样品原始状态。快速换样技术将真空抽气-成像周期压缩至40秒以内，效率较传
统设备提升3倍，适配高通量检测需求。紧凑机身无需专用实验室，普通桌面即可部署，兼顾空间利用率与设备性能。

性能核心：CeB6光源赋能高清成像

设备采用六硼化铈（CeB₆）热电子源，亮度为传统钨灯丝的10倍，
使用寿命长达1500小时（约2-3年），是钨灯丝的30倍，且衰减平缓无突发故障，
大幅降低维护成本。成像分辨率优于10 nm，放大倍数覆盖160–200,000×，
标配四分割背散射电子检测器（BSD），兼顾形貌衬度与化学成分差异成像；
可选二次电子检测器（SED）与集成EDS能谱系统，同步实现微观形貌观察与元素定性定量分析。

智能体验：极简操作与自动化集成

Phenom XL G2搭载全新智能操作界面，交互直观、学习门槛低，新手经简短培训即可独立操作。
标配低真空模式，搭配荷电消除技术，可直接观测塑料、陶瓷等非导电样品，无需喷金处理，
简化前处理流程。支持氩气环境适配，可对接手套箱，满足锂电极、易氧化材料等敏感样品的分析需求。

ProSuite软件平台集成自动化成像、批量分析与数据报告功能，可一键完成多点观测、粒径统计、缺陷检测等任务，适配工业自动化质检场景。

多元应用场景

Phenom XL G2广泛应用于材料科学、半导体、电池制造、汽车工业、地质矿产等领域：
电池行业用于电极材料微观结构与涂层均匀性检测；半导体领域检测芯片封装缺陷与焊点形貌；
地质领域直接分析大块矿物样品，助力成分与结构研究。

凭借超大样品室、长寿命光源、高清成像与智能操作的融合，Phenom XL G2成为
台式SEM领域的全能型，兼顾高性能与高效率，为微观分析提供解决方案。
赛默飞台式大样品室扫描电子显微镜