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TECHNICAL ARTICLES
更新时间:2026-01-27
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在新能源汽车、航空航天、半导体等制造领域,
精密零部件的形位公差测量正面临“微米级精度+高效检测"的双重挑战。
日本MITUTOYO三丰推出的LEGEX系列超高精度三坐标测量机,
以突破性的结构设计、误差控制技术与智能适配能力,将测量精度推向0.28μm的新高度,
重新定义了超精密测量的行业标准,为复杂工件的质量管控提供了解决方案。
结构创新是实现超高精度的核心根基。
LEGEX系列采用Y轴导轨与主体基座一体化设计,选用高刚性FCD600球墨铸铁打造封闭式结构,
经FEM有限元分析优化后,将测量负重形变量降至低,配合陶瓷-等离子喷涂处理的滑动面,
兼具出色的耐锈蚀性与空气轴承适配性。突破性的桥固定工作台移动结构,从根源上避免了传统桥式移动带来的俯仰与偏航误差,
搭配各轴重心驱动系统,使加减速过程中几乎无变形,确保X、Y轴运动的独立性。内置的高性能空气阻尼弹簧减振器,
可自动感知地面振动与工件负荷变化,快速恢复主机水平,配合内部振动衰减机构,大幅降低扫描测量时的波动幅度,为超精密测量筑牢基础。
精度控制体系彰显技术硬实力。
该系列搭载三丰自主研发的超高精度结晶玻璃光栅尺,
线膨胀系数低至0.01×10⁻⁶/℃,配合分辨力0.01μm的反射型编码器,构建起“近零膨胀"的测长单元。
通过热对称结构设计与多轴温度传感器,LEGEX系列可在18~22℃宽温带环境下稳定工作,实时监测工件与环境温度并自动补偿,
无需苛刻的恒温实验室条件。搭配SP25M、SP80等高精度扫描测头,既能实现离散点快速测量,也能对复杂曲面进行连续扫描,
每秒采集海量数据点,测量重复性误差稳定在亚微米级别,满足航空发动机叶片、RV减速器针齿壳等关键部件的形位公差要求。
智能化与场景适配能力让技术价值落地。
软件层面,MCOSMOS系统支持CAD数模导入后自动生成测量路径,
无需人工逐点设定,测量完成后可快速完成数据比对与误差分析,生成可视化报告。
设备支持MT Connect通信协议与MeasurLink数据网络系统,可实现测量数据的实时传输与全流程追溯,
助力智能工厂的品质可视化管理。针对不同行业需求,该系列提供从500×700×400mm到大型工装模具适配的丰富测量范围,
搭配QVP影像测头、激光扫描测头等模块化配置,可精准适配新能源汽车涡盘、半导体封装器件、医疗器械股骨髁等不同场景的测量需求,
一次装夹即可完成多维度尺寸与形位公差检测,大幅提升批量生产的质检效率。
三丰超高精度三坐标测量机的技术突破,不仅实现了“高精度"与“高效率"的统一,
更通过环境适应性与智能化设计,打破了超精密测量的应用局限。其背后凝聚的结构力学优化、误差补偿算法与场景化创新,
彰显了三丰在精密量仪领域的深厚技术沉淀,为制造行业的质量升级提供了坚实支撑,推动精密测量从“实验室专属"走向“车间现场常态化"。
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