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ARTICLES基恩士3D数码显微系统
在精密制造、材料研发与质量检测领域,传统显微镜常受限于景深不足、分辨率有限、
表面细节辨识度低等痛点。基恩士(KEYENCE)VHX‑X1系列超景深3D数码显微系统,
凭借4K超高清成像、超景深融合、动态光学SEM模拟、智能分析四大核心技术,实现
从平面观测到立体测量的跨越,成为工业显微检测与科研分析的一体化解决方案。
一、核心硬件:4K光学架构,重塑显微成像极限
VHX‑X1搭载1222万像素4K CMOS传感器与远心高分辨率镜头,分辨率达同级水平,
5–6000倍倍率无缝切换,高倍下仍保持全幅清晰画质。光学系统采用大景深设计,
配合Fast Accurate D.F.D.深度合成技术,采集速度较上代产品提升2倍,即使样品
表面凹凸差达数百微米,也能一次性完成全表面对焦成像,告别传统显微镜反复调焦的繁琐。
系统标配多组4K专用镜头,涵盖低倍全景到高倍微观观测需求,搭配300mm超大电动平台
(分析范围为传统平台9倍),可满足晶圆、大型零部件等大尺寸样品的全域检测。
二、创新功能:多维照明与智能算法,捕捉微米级细节
1. Advanced Optical Shadow Effect Mode(高级光学阴影)
通过360°多方向光源组合,结合DPC算法,可将样品表面纳米级微小凹凸的立体感最大呈现,
观测效果媲美扫描电镜(SEM),且无需真空环境,适配各类材质与现场检测场景。
2. 搜索照明与异常识别
“搜索照明"功能实时切换照明角度,自动突显划痕、裂纹、异物等细微瑕疵;
“异常识别功能"通过亮度与色相分析,自动对比标准图像,以彩色标记差异,
瞬间捕捉目视易忽略的微观缺陷,大幅提升检测效率。
3. 动态光学SEM模拟
一键启动即可模拟SEM观测效果,360°自由调整阴影角度,清晰呈现金属断口、
陶瓷孔隙、半导体线路等超精细表面结构,为材料失效分析与微观形貌研究提供全新手段。
三、测量与分析:2D/3D一体化,全流程数据赋能
VHX‑X1集成非接触式2D/3D测量模块,无需外部软件即可完成全流程分析:
2D测量支持长度、角度、直径、面积等参数实时测量;3D测量可精准获取高度、
轮廓、体积、粗糙度(Ra/Rz)、R角等三维数据,测量精度可达亚微米级。
系统内置金相分析、清洁度分析、断口分析等专用模块,支持金属晶界、石墨铸铁夹杂、
异物元素判别等专业分析;同时具备快速重播与一键报告生成功能,可重复调用拍摄与测量条件,
自动导出包含图像、数据与分析结果的标准化报告,适配工业质检与科研归档需求。
四、应用场景:全行业覆盖,适配多元检测需求
作为模块化显微平台,VHX‑X1可灵活配置镜头、照明与分析模块,广泛应用于:
• 精密制造:电子元器件引脚、半导体芯片、MEMS器件的微观缺陷检测与尺寸测量;
• 材料科学:金属金相组织、复合材料界面、涂层厚度、断口形貌分析;
• 汽车工业:发动机零部件表面粗糙度、焊缝质量、模具磨损检测;
• 科研与质检:高校实验室微观形貌研究、企业来料检验、成品质量全检。
五、总结
基恩士VHX‑X1系列超景深3D数码显微系统,以4K超高清、超景深融合、动态光学SEM、智能分析为核心,
突破传统显微镜的性能瓶颈,实现“高清观测—三维测量—智能分析—报告输出"一体化。其模块化设计
与强功能,既能满足科研的精度需求,又适配工业现场的高效检测,成为精密观测领域的产品,
助力各行业实现微观质量控制与技术创新。
基恩士3D数码显微系统
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